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RTL1200-PECVD转动式PECVD系统
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本公司生产的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列电阻炉均采用双层壳体结构,标配30 段程序控温系统,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、 升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的理想产品。


全系列电阻炉组件配置:

一、控温仪表: 采用宇电程序控温仪表。(可选配日本岛电,英国欧陆等进口品牌)

1、30段程序控温智能PID调节。(可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表)

2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能。

二、开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。  

三、炉膛材料: 采用氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

四、加热元件:  采用优质的加热元件, 温场均衡、使用寿命长。      

五、漏电保护功能: 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

六、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

七、控制系统:1、电器:正泰,   2、可控硅:德国西门康106/16E,  3 触发器:移相触发。

八、选配件:1、50段程序控温,   2、液晶触摸屏控制器或进口温度控制器      3、炉膛尺寸可定做    

4、可增加进气、排气阀门   5、炉膛材料可选进口材料   6、可选UL认证电器板  

7、电器部分可选配ABB产品  8、可根据客户需求定做各种非标型号产品

产品描述:

这款转动式PECVD系统可360度旋转和0-30度倾斜,管内壁有石英挡片帮助材料翻转有助于烧结或镀膜更加均匀。炉膛采用日本进口氧化铝纤维材料。

技术参数:

1.型号:RTL1200-PECVD              

2.炉管尺寸:Dia 60(OD)X1400mm

3.加热元件:瑞典Kanthal-A1电阻丝     4.功率:3.5KW

5.额定温度:1100℃  6.最高温度:1200℃  7.热电偶:K型                         8.加热段:440mm   9.转动电机功率:40W          

10.炉子倾斜角度:-10~30度    

11.转动密封方式:采用转动磁流体密封

12.视频电源:功率输出范围0-500W

13.最大反射功率:10W                   14.射频电信号频率: 13.56MHZ±0.005%