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滑竿式单温区PECVD系统 
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这款TL1200 滑竿式PECVD系统是一款能够快速加热、冷却PECVD系统,是在PECVD系统上安装一对滑轨,可用手动滑动系统。加热和冷却速率更大可达100°C/min。为取得快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速加热、冷却的PECVD系统。


     这款TL1200滑竿式PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,炉管两端采用不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa, 该系统使用方便,操作简单,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想产品.。


滑竿式单温区PECVD系统产品描述:


该炉在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能,该炉底部安装了一对滑轨,可手动滑动。采用双层壳体结构。该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。加热和冷却速率更大可达100°C/min。为取得快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S,是低成本快速热处理的理想炉。


滑竿式单温区PECVD系统技术参数:


1.温控方式:智能化30段可编程控制            2.更高温度:1200℃                 3.电压:220V


4.额定温度:1150℃                           5.热电偶:K型                      6.加热段长:400mm


7.加热元件:瑞典Kanthal-A1电阻丝                                


8.升温速率:≤20℃/min   推荐升温速率:≤10℃/min      




抽真空系统资料介绍请点击http://www.mafulu.net.cn/Product/0829672413.html


浮子流量计供气系统资料介绍请点击http://www.mafulu.net.cn/Product/345910224.html


质子流量计供气系统资料介绍请点击http://www.mafulu.net.cn/Product/742860205.html


射频电源资料介绍请点击http://www.mafulu.net.cn/Product/9362752511.html


font>通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高所需的温度更低。





型号

TL1200-H-PE-I

TL1200-H-PE-II

TL1200-H-PE-III

炉管尺寸

Φ60X1800

Φ80X1800

Φ100X1800

功率(KW)

2.5

3.5

3.5