这款TL1200 滑竿式PECVD系统是一款能够快速加热、冷却PECVD系统,是在PECVD系统上安装一对滑轨,可用手动滑动系统。加热和冷却速率更大可达100°C/min。为取得快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速加热、冷却的PECVD系统。
这款TL1200滑竿式PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,炉管两端采用不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa, 该系统使用方便,操作简单,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想产品.。
滑竿式单温区PECVD系统产品描述:
该炉在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能,该炉底部安装了一对滑轨,可手动滑动。采用双层壳体结构。该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。加热和冷却速率更大可达100°C/min。为取得快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S,是低成本快速热处理的理想炉。
滑竿式单温区PECVD系统技术参数:
1.温控方式:智能化30段可编程控制 2.更高温度:1200℃ 3.电压:220V
4.额定温度:1150℃ 5.热电偶:K型 6.加热段长:400mm
7.加热元件:瑞典Kanthal-A1电阻丝
8.升温速率:≤20℃/min 推荐升温速率:≤10℃/min
抽真空系统资料介绍请点击http://www.mafulu.net.cn/Product/0829672413.html
浮子流量计供气系统资料介绍请点击http://www.mafulu.net.cn/Product/345910224.html
质子流量计供气系统资料介绍请点击http://www.mafulu.net.cn/Product/742860205.html
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font>通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高所需的温度更低。
型号 | TL1200-H-PE-I | TL1200-H-PE-II | TL1200-H-PE-III |
炉管尺寸 | Φ60X1800 | Φ80X1800 | Φ100X1800 |
功率(KW) | 2.5 | 3.5 | 3.5 |