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TL1400 CVD系统
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本公司生产的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列电阻炉均采用双层壳体结构,标配30 段程序控温系统,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、 升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的理想产品。


全系列电阻炉组件配置:

一、TL1400 CVD系统控温仪表: 采用宇电程序控温仪表。(可选配日本岛电,英国欧陆等进口品牌)

1、30段程序控温智能PID调节。(可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表)

2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能。

二、开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。  

三、炉膛材料: 采用氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

四、加热元件:  采用优质的加热元件, 温场均衡、使用寿命长。      

五、漏电保护功能: 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

六、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

七、控制系统:1、电器:正泰,   2、可控硅:德国西门康106/16E,  3 触发器:移相触发。

八、选配件:1、50段程序控温,   2、液晶触摸屏控制器或进口温度控制器      3、炉膛尺寸可定做    

4、可增加进气、排气阀门   5、炉膛材料可选进口材料   6、可选UL认证电器板  

7、电器部分可选配ABB产品  8、可根据客户需求定做各种非标型号产品


TL1400 CVD系统产品描述:

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统,采用双层壳体结构和30段程序控温系统,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料。供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

TL1400 CVD系统技术参数:

1.额定温度:1350℃                         2.最高温度:1400℃

3.电压:220V                               4.加热段:300mm    

5.加热元件:硅碳棒                       6.热电偶:S型        

7.温控方式:智能化30段可编程控制          

8.升温速率:≤20℃/min       推荐升温速率: ≤10℃/min  


型号

TL1700-C-I

TL1700-C-II

TL1700-C-III

炉管尺寸

Φ60X1000

Φ80X1000

Φ100X1000

功率(KW)

5

5

6



7、电器部分可选配ABB产品  8、可根据客户需求定做各种非标型号产品