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滑竿式单温区PECVD系统
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1.系统型号:

TL1200-H-PE-I TL1200-H-PE-II ƒTL1200-H-PE-III

2.管式炉型号:TL1200-S-I TL1200-S-II          

3.炉管长度:Φ60X1800mm  Φ80X1800mm ƒ100X1800mm                                  

4.等离子射频电源:PE-500  

5.抽气系统:VS-0.1(可选购VS高真空系统)

6.供气系统:GX-3(可选购LEP-800液态蒸发器 可订制多通道)