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双温区PECVD系统
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该炉由TL1200真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。双温区的管式炉每个温区可以独立控制、设置不同的温度。采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,抽真空时真空度能够达到10-3Pa。该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源。该炉通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高所需的温度更低。


主要特点:

    1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

    2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

    3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

    4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

    5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

      这款TL1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。  

全系列TL1200 PECVD系统组件配置:

一、TL1200 PECVD系统控温仪表: 采用宇电程序控温仪表。(可选配日本岛电,英国欧陆等进口品牌)

1、30段程序控温智能PID调节。(可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表)

2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能。

二、开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。  

三、炉膛材料: 采用氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

四、加热元件:  采用优质的加热元件, 温场均衡、使用寿命长。      

五、漏电保护功能: 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

六、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

七、控制系统:1、电器:正泰,   2、可控硅:德国西门康106/16E,  3 触发器:移相触发。

八、选配件:1、50段程序控温,   2、液晶触摸屏控制器或进口温度控制器      3、炉膛尺寸可定做    

4、可增加进气、排气阀门   5、炉膛材料可选进口材料   6、可选UL认证电器板  

7、电器部分可选配ABB产品  8、可根据客户需求定做各种非标型号产品


技术参数:

1.额定温度:1100℃                     2.最高温度:1200℃                         3.电压:220V

4.加热段:205mm+205mm                  5.温控方式:智能化30段可编程控制          6.热电偶:K型        

7.加热元件:瑞典Kanthal-A1电阻丝

8.升温速率:≤30℃/min   推荐升温速率:≤15℃/min        

9.等离子射频电源:输出功率:50-500w最大可调±1% 稳定性

频率:13.56MHz ±0.005%

噪声:<50dB

冷却:空气冷却

输入功率:AC 220V,500W        

10真空泵和阀门:采用KF25系列波纹管和精密球阀连接

真空度可达10-3Pa

数字真空压力表可直观的显示数值

11.质量流量计:内部装有高精度数字显示质量流量训科准确的控制气体流量

气体流量范围为0-200sccm,误差:0.02%

一个气体搅拌罐上安装了液体释放阀的底部情况

不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入的数量

进气口:采用国际标准双卡套接头

型号

TL1200-1200-PE-I

TL1200-1200-PE-II

TL1200-1200-PE-III

TL1200-1200-PE-IV

炉管尺寸

Φ60X1200

Φ80X1200

Φ100X1200

Φ150X1200

功率(KW)

3.5

3.5

3.5

5



本公司生产的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列电阻炉均采用双层壳体结构,标配30 段程序控温系统,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、 升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的理想产品。