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RTL1200-PECVD转动式PECVD系统
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这款转动式PECVD系统360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀,炉体的一端安装有铰链,另一端安装有升降支撑杆,可大角度倾斜,方便出放料


 RTL1200-PECVD系统,由RTL1200真空转动管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。


主要特点:


     1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

     2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

     3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

     4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

     5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

     6、炉管可360度旋转、物料焙烧起来温场更加均匀。


      这款TL1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。  是高校、科研院所、工矿企业做电池正负级材料增强等离子烧结(例如:LiFePO4 / LiMnO4/ Li(NiCoMn)O4   负极碳等)、气氛还原、粉体或颗粒物翻转焙烧的理想产品.。


开盖保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。


密封系统:该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。


真空系统(选配):能够抽到10-1Pa真空泵和能够抽到10-3Pa的分子泵。


炉膛材料:采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。


加热元件:采用优质电阻丝使用使用长,温场均衡。


漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电时自动断电,以确保使用的安全性。


供气系统(选配):该炉配有浮子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速(详细请查看选件)。


法兰:采用双环密封技术,有效的提高了法兰的气密性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。